Bendros paskirties rusenančio išlydžio optinės emisijos spektrometras – GDS

Įrenginys skirtas kietų kūnų (metalų, lydinių ir kitų medžiagų) kokybinei ir kiekybinei elementinei analizei, įskaitant plonų dangų/sluoksnių sistemų su laidžiais ir nelaidžiais sluoksniais gylių profiliavimą. Taip pat įrenginys tinka nustatant cheminės sudėties skirtumus tarp bandinio paviršinių ir popaviršinių sluoksnių.

• Vakuuminis Paschen Runge polichromatorius, kurio minimalus židinio nuotolis 0,75 m;
• 1800-3600 rėžių milimetre difrakcinė gardelė, optimizuota daugumos pereinamųjų metalų bangų ilgių diapazonui;
• Minimalus spektrinis intervalas nuo 120 iki 800 nm;
• Skyra < 25 pm visame spektriniame diapazone;
• Daugybinis skenavimas iki ± 1.5 nm nuo centrinio bangos ilgio pilnai valdomas programinės įrangos, įskaitant tūrio analizei skirtą automatinį duomenų surinkimą pasirinktame bangos ilgyje (daugybinio skenavimo srityje);
• Termostatiška spektrometro kamera, kur galimas temperatūrinis nuokrypis ± 0.1°C;
• Yra du rusenančio išlydžio šaltiniai: (i) Grimm tipo nuolatinės srovės rusenančio išlydžio šaltinis; (ii) RF dažnio rusenančio išlydžio šaltinis;
• Nuolatinės srovės režime sistema veikia su visomis trimis pagrindinėmis išlydžio stabilizavimo modomis (įtampa-srovė, įtampa-slėgis, srovė-slėgis) ir galios-įtampos bei galios-srovės modomis;
• RF režimo metu sistema leidžia abi pagrindines išlydžio stabilizavimo modas (galia-slėgis ir įtampa-slėgis) ir papildomą įtampos-galios modą;
• Didelio greičio (minimum 2kHz) ir plataus dinaminio spektro (bent 106) vienalaikis duomenų gavimas.